二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:skdjflskdj
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
论述了气体摆的机理,分析了密闭腔中自然对流气体的浮升力及浮升力与温度变化的关系式。该文给出了二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器的结构原理和信号处理电路,并通过对实际制作的两维微机械气体摆式加速度计和倾角传感器样机进行测试。结果表明,在±7g和±25°时,两维微机械加速度计和微机械倾角传感器的非线性度均小于1%FS。
其他文献
20世纪90年代以来,我国的科技工业园得到了长足的发展,其中民营科技园的崛起,标志着我国科技工业园的发展步入了一个崭新的阶段.我国民营科技园的发展,不可能照搬'硅谷&#
中部五省是全国重要的农业大省,也是全国重要的商品粮基地,中部农业在区域经济发展中占有举足轻重的地位.在概述中部农业发展的优势与特色的基础上,分析了中部农业发展中存在
WTO的<服务贸易总协定>和<金融服务协议>界定了企业服务与政府服务的区别,政府经济行为的准则是遵循GATS的基本原则.面对入世后金融全球化趋势,加快政府职能转变势在必行,其
近年来,随着养殖业的不断发展,养牛专业户越来越多,但牛疥螨病在一定程度上影响了养殖业的发展。牛疥螨病是牛疥螨寄生而引起的皮肤病,一般在牛的头部、颈部、及尾根部发病。
人力资本投资与技术创新战略的契合对企业绩效的提高发挥着重要的作用.鉴于此,企业在选择领先型、跟随型、模仿型技术战略时,采用与之相契合的累积型、协助型、效用型人力资
根据甲烷分子的光谱吸收特性,研究设计了一套基于差分吸收技术的光纤传感系统。系统以发光二极管(LED)为光源,折返式吸收池作为气室,利用光纤光栅的窄带滤波特性,用双光路实现了差
本文建立了一个综合科技实力的评价指标体系,尝试性地提出"基于因子分析方法的层次分析模型",并用该方法对西南地区四省一市的综合科技实力进行评判,最后根据评价结果分析各
电子束光刻(EBL)具有高的分辨率,能制备具有亚微米尺寸的声表面波(SAW)器件。一种采用EBL技术制备用于气体传感器的具有亚微米尺寸的SAW延迟线的方法:首先利用EBL在压电衬底上获得
笼养新母鸡开产数星期后常有散发的瘫痪病鸡出现,药物治疗无明显效果,病鸡因采食和饮水困难而迅速脱水停产。对此有的饲养者对其提前淘汰,有的听其自然转归,有的取出笼外施太阳浴