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用图像识别的方法检测集成电路的键合点
用图像识别的方法检测集成电路的键合点
来源 :自动化学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guolsh003
【摘 要】
:
1引言(a)例1(b)例2图1键合区与键合点在大规模集成电路(VLSI)的制造工艺中,键合区及键合点的检验是保证可靠性的一个重要环节,因为每一个键合点的好坏,直接影响整体集成电路(IC)芯片的可靠性.图1是两例
【作 者】
:
卢朝阳
顾英
【机 构】
:
西安电子科技大学综合业务网国家重点实验室,西安电子科技大学微电子所
【出 处】
:
自动化学报
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
键合点
集成电路
VLSI
制造工艺
图像识别
IC wafer
bond pads
image segmentation
shape analysis.
【基金项目】
:
国家自然科学基金,ISN国家重点实验室开放课题
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1引言(a)例1(b)例2图1键合区与键合点在大规模集成电路(VLSI)的制造工艺中,键合区及键合点的检验是保证可靠性的一个重要环节,因为每一个键合点的好坏,直接影响整体集成电路(IC)芯片的可靠性.图1是两例放大了一百倍的IC键合区显微图像.图中中...
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