【摘 要】
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氮化铝陶瓷具有高导热率、高温绝缘性和优良介电性能、良好耐腐蚀性、与半导体Si相匹配的膨胀性能等优点,是理想的电子封装散热材料。本文对氮化铝陶瓷粉体制备、成型工艺、
【机 构】
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南通大学机械工程学院,莱鼎电子材料科技有限公司
【基金项目】
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江苏高校优势学科建设工程资助项目(PAPD);江苏省重点研发计划(产业前瞻与共性关键技术)项目(BE2018093);江苏省墙体材料革新科研项目(201703)
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氮化铝陶瓷具有高导热率、高温绝缘性和优良介电性能、良好耐腐蚀性、与半导体Si相匹配的膨胀性能等优点,是理想的电子封装散热材料。本文对氮化铝陶瓷粉体制备、成型工艺、烧结等方面的关键技术做出了总结,其中着重总结了氮化铝陶瓷烧结方面的技术发展现状。最后对高导热氮化铝陶瓷制备技术进行了展望。
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