【摘 要】
：
对CMP工艺过程中的一种终点监测技术进行论述,分析了国外某公司抛光机的电机电流变化监测技术,在此基础上,设计了一种高精度的电流监测和电流电压转换电路,电流监测基于LTC61
【机 构】
：
北京信息科技大学,北京中油燃气有限公司,中国电子科技集团公司第四十五研究所
【基金项目】
：
北京市教育委员会科技发展计划项目（KM200711232004）
论文部分内容阅读
对CMP工艺过程中的一种终点监测技术进行论述,分析了国外某公司抛光机的电机电流变化监测技术,在此基础上,设计了一种高精度的电流监测和电流电压转换电路,电流监测基于LTC6102高精度电流监测放大器,电流电压转换电路基于MAX472高精度电流传感放大电路和MAX951微功耗/比较放大电路。改进的电路构成简单,监测精度高,成功实现了从安培级的负载电流中辨别出微安级电流变化的精度。实验证明,该电路精度好于1%,显著提高了终点监测精度。
其他文献
本文以金融发展对安徽产业结构优化的作用为研究目的，基于多变量的VAR（向量自回归模型），利用安徽省1978—2009年的相关数据，运用单位根检验、协整检验、格兰杰因果检验和VECM（向量
袁世全先生是当今著名的辞书理论家.他在辞书基础理论、共性理论等方面作了探索与创新：提出并论证了“辞书框架”、“辞书框架（结构）机制”、“辞书框架理论”的概念,以及彼此间
《茶经》作为茶文化的经典古籍，代表着中国茶文化的历史，更蕴含着深厚的天人合一思想。其英译本对茶文化及其内涵文化的传播起着及其重要的作用。文章利用文本分析的方法，根据语
本文在阐述城镇化对扩大城镇居民消费需求作用机制的基础上,结合2009年我国234个地级市的截面数据,运用自抽样、OLS估计和SUR估计实证检验了城镇化对城镇居民消费增长的影响
文章运用递归序列、同余式和平方剩余方法,对一个不定方程x^2-5y4=236的正整数解进行了研究,证明了不定方程x^2-5y4=236仅有正整数解(x,y)=(271,11).
<正> 由云南艺术学院于景春教授主持,我院多名艺术教育工作者参加研究的全国教育科学“九五”规划国家重点课题《云南民族地区中小学艺术教育研究》在国家艺教委、省教委、云