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本文论述了系统的真空度、清洁度对热阴极电子发射、电子光学系统性能的影响及污染物的来源。同时也介绍了为提高整个系统的真空度和清洁度而采取的措施‘及其实验结果。
可变矩形电子束曝光机真空系统的完善
【摘 要】
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本文论述了系统的真空度、清洁度对热阴极电子发射、电子光学系统性能的影响及污染物的来源。同时也介绍了为提高整个系统的真空度和清洁度而采取的措施‘及其实验结果。
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院电工研究所
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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1991年4期
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