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本文阐述了以合金薄膜作敏感电阻的应变式压力传感器的原理、设计方法和工艺技术、分析了各工艺参数对传感器质量的影响,通过试验,提出了一套最优工艺实现方案。研制的薄膜压力传感器性能测试结果表明:这种形式的压力传感器稳定性好,迟滞、蠕变小,是一种很有发展前途的传感器。
薄膜压力传感器研究
【摘 要】
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本文阐述了以合金薄膜作敏感电阻的应变式压力传感器的原理、设计方法和工艺技术、分析了各工艺参数对传感器质量的影响,通过试验,提出了一套最优工艺实现方案。研制的薄膜压
【机 构】
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航天部贵州职工大学,浙江大学
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1989年6期
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