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文章介绍了一种工艺流程的自动排序算法。该算法将器件的结构作为输入信息，利用工艺库，得到可制造出该器件的工艺路线。该算法可应用于VLSI制造的工艺流程卡自动生成。
用于工艺流程自动生成的排序算法
【摘 要】
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文章介绍了一种工艺流程的自动排序算法。该算法将器件的结构作为输入信息，利用工艺库，得到可制造出该器件的工艺路线。该算法可应用于VLSI制造的工艺流程卡自动生成。
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2001年2期
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