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期刊论文
电化学沉积多晶GaAs薄膜研究
电化学沉积多晶GaAs薄膜研究
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haohaodezuzut
【摘 要】
:
研究了电化学沉积GaAs薄膜的条件以及电化学沉积参数对GaAs薄膜成分的影响,并通过正交实验调节这些化学沉积参数,得到了化学计量比接近1∶1的GaAs薄膜以及电化学沉积GaAs薄膜
【作 者】
:
苏红兵
陈庭金
施兆顺
涂洁磊
张跃
【机 构】
:
云南农业大学工程学院,云南师范大学太阳能研究所
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2001年5期
【关键词】
:
电化学沉积
砷化镓
薄膜
electrochemical deposition GaAs films stoichiometric ratio solar ce
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研究了电化学沉积GaAs薄膜的条件以及电化学沉积参数对GaAs薄膜成分的影响,并通过正交实验调节这些化学沉积参数,得到了化学计量比接近1∶1的GaAs薄膜以及电化学沉积GaAs薄膜的最佳参数范围,为获得实用的GaAs薄膜材料打下了基础.
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