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金属封装形式的氧化物半导体场效应晶体管(VDMOS),在经历筛选试验后,管壳表面的金属层出现了腐蚀形貌,通过显微镜观察、扫描电镜、EDS能谱分析和切片镜检等方法,对腐蚀样品进行了分析,确定了失效原因,并详细地阐述了腐蚀发生的机理。
金属封装功率器件管壳镀金层腐蚀机理研究
【摘 要】
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金属封装形式的氧化物半导体场效应晶体管(VDMOS),在经历筛选试验后,管壳表面的金属层出现了腐蚀形貌,通过显微镜观察、扫描电镜、EDS能谱分析和切片镜检等方法,对腐蚀样品进行了分析,确定了失效原因,并详细地阐述了腐蚀发生的机理。
【机 构】
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北京新能源汽车技术创新中心有限公司
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2021年4期
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