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研究了参硼剂Ｂ（ＣＨ３Ｏ）３的分解离化行为及渗硼工艺。结果表明：在室温条件下Ｂ（ＣＨ３Ｏ）３主要分解离化为Ｂ（ＣＨ３Ｏ）Ｈ＾＋、Ｂ（ＣＨ３Ｏ）ＯＨ和Ｂ９ＣＨ３Ｏ）２；在设计的工艺条件下可以得到均匀致密的渗硼层。
B9CH3O）3等离子辅助渗硼的研究
【摘 要】
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研究了参硼剂Ｂ（ＣＨ３Ｏ）３的分解离化行为及渗硼工艺。结果表明：在室温条件下Ｂ（ＣＨ３Ｏ）３主要分解离化为Ｂ（ＣＨ３Ｏ）Ｈ＾＋、Ｂ（ＣＨ３Ｏ）ＯＨ和Ｂ９ＣＨ３Ｏ）２；在设计的工艺条件下可以得到均匀致密的渗硼层。
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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热加工工艺
【发表日期】
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1999年4期
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