AlGaAs／AlAs体系DBR的MOCVD生长及表征

来源 :光电子．激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jaczolo

【摘要】

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设计并利用MOCVD在(311)GaAs衬底上生长了12.5个周期的Al0.6Ga0.4As/AlAs黄绿光分布式Bragg反射(DBR)体系,测量了白光反光谱及其外延片峰值波长分布,反射率90 %以上,波长不均

【作者】

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尉吉勇黄柏标于永芹周海龙岳金顺王笃祥潘教青秦晓

【机构】

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山东大学晶体生长国家重点实验室,山东大学晶体生长国家重点实验室,山东华光光电子有限公司

【出处】

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光电子．激光

【发表日期】

：

2002年8期

【关键词】

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AlGaAs/AlAs体系 DBR MOCVD 分布式Bragg反射白光反射谱双晶X衍射铝镓砷三元体系分布式布喇格反射半导体 Distributed

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设计并利用MOCVD在(311)GaAs衬底上生长了12.5个周期的Al0.6Ga0.4As/AlAs黄绿光分布式Bragg反射(DBR)体系,测量了白光反光谱及其外延片峰值波长分布,反射率90 %以上,波长不均匀性在1.0 %以下;利用了X射线双晶衍射对其进行结构表征,580 nm波长DBR结构周期为84.5 nm.

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