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目前,国际上多晶硅的生产,工艺大多采用改良西门子法,其关键设备为还原炉。本文介绍了国内常用的12对多晶硅棒还原炉之国产主要电器设备,并根据多晶硅生产的流程和工艺,说明选择这些电器设备参数的原则和依据,着重介绍了生产电子级多晶硅用的高压启动方式,以及可控硅调功器"拼波"的原理。
多晶硅还原炉的电器设备
【摘 要】
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目前,国际上多晶硅的生产,工艺大多采用改良西门子法,其关键设备为还原炉。本文介绍了国内常用的12对多晶硅棒还原炉之国产主要电器设备,并根据多晶硅生产的流程和工艺,说明
【机 构】
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东方电气自动控制工程有限公司
【出 处】
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东方电气评论
【发表日期】
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2010年03期
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