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用底吹氧的方法代替传统的氯化精炼法生产高纯工业硅，不增加运行成本，无环境污染，可改善产品质量。
以氧代氯精炼工业硅的工艺研究
【摘 要】
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用底吹氧的方法代替传统的氯化精炼法生产高纯工业硅，不增加运行成本，无环境污染，可改善产品质量。
【机 构】
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西安建筑科技大学710055,西安渭河精密工具公司710043
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2001年6期
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