【摘 要】
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目的 研究不同H_2/Ar流量比对纳米金刚石形貌和结构的影响。方法 采用MPECVD法制备了质量较好的纳米金刚石薄膜,并通过SEM、XRD对金刚石薄膜的形貌、结构以及晶粒尺寸进行了
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目的 研究不同H_2/Ar流量比对纳米金刚石形貌和结构的影响。方法 采用MPECVD法制备了质量较好的纳米金刚石薄膜,并通过SEM、XRD对金刚石薄膜的形貌、结构以及晶粒尺寸进行了测试,还使用Raman对金刚石D峰、纳米金刚石特征峰（TPA）的变化趋势进行了分析。结果 当Q（H_2）：Q（Ar）=50：49时,制备的金刚石晶粒为亚微米范畴,其平均晶粒尺寸为250 nm,表面平整度较差,出现堆积层错现象,但金刚石特征峰（D峰）最强,生长速率达到最大,约为125 nm/h;Q（H_2）：Q（Ar）=10：89
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