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直线超声波电动机在精密平台中应用的现状
直线超声波电动机在精密平台中应用的现状
来源 :微特电机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baofeifly
【摘 要】
:
尖端工业生产领域需要精密平台为其提供技术支持.对各国的先进直线超声波电动机驱动的精密平台的原理、性能和应用作了初步介绍,并与上海大学研制的短、小、薄超声波电动机精
【作 者】
:
孙向磊
郭丽娜
吕宏伟
【机 构】
:
航天动力技术研究院西安航天化学动力厂
【出 处】
:
微特电机
【发表日期】
:
2016年4期
【关键词】
:
精密平台
直线超声波电动机
定位精度
precision stage
linear ultrasonic motor
positioning accurac
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尖端工业生产领域需要精密平台为其提供技术支持.对各国的先进直线超声波电动机驱动的精密平台的原理、性能和应用作了初步介绍,并与上海大学研制的短、小、薄超声波电动机精密平台作对比.通过分析它们的特点,为我国的直线超声波电动机驱动控制精密平台的开发研究提供建议和参考.
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