【摘 要】
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通过对化学气相沉积方法获得的碳膜微球进行高温高压处理,在约8GPa、1 600℃的条件下制备了类金刚石异质实心微球样品,芯轴为钼球。根据金刚石和钼的体积随压力及温度的变化
【机 构】
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四川大学原子与分子物理研究所,四川大学材料科学与工程学院,中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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通过对化学气相沉积方法获得的碳膜微球进行高温高压处理,在约8GPa、1 600℃的条件下制备了类金刚石异质实心微球样品,芯轴为钼球。根据金刚石和钼的体积随压力及温度的变化规律,设计并优化了样品制备的温度-压力路径,以降低因类金刚石膜层与钼球的体弹模量及热膨胀系数差异而导致的残余应力。拉曼光谱测试结果表明,样品膜层具有明显的1 332cm~(-1)金刚石特征峰,高温高压有效地消除了存在于初始碳膜微球中的反式聚乙炔,同时降低了膜中残余应力,产生了有利于提高类金刚石膜强度的压应力;扫描电子显微镜测试结果表明,样
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