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主要介绍交流变频技术及老机改造中的应用，交流变频技术应用的必要性，并进行可行性及性价比分析。
交流变频调速及PLC控制技术在芯片制程排气系统中的应用
【摘 要】
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主要介绍交流变频技术及老机改造中的应用，交流变频技术应用的必要性，并进行可行性及性价比分析。
【机 构】
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德州仪器（上海）有限公司
【出 处】
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信息通信
【发表日期】
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2014年2期
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