溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜的研究

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硅溶胶制备SiO2 薄膜时用正交试验法系统地研究了各种因素对溶胶稳定性和SiO2 薄膜成膜性的影响. 研究表明:溶液浓度、加水量和催化剂是制备良好成膜性溶胶的关键因素,控制干燥化学添加剂(DCCA) 在加入量超过一定比例后对抑制膜层开裂有明显作用. 研究给出成膜性优良的硅溶胶组分比例为(TEOS:ROH:H2 O:DCCA:HCl=1 :70 :10 :1.6 :0 .05) . The effects of various factors on the sol stability and the film formation of SiO2 films were studied systematically by orthogonal test when preparing SiO2 films with silica sol. The results show that the concentration of solution, the amount of water added and the catalyst are the key factors for the preparation of a good film-forming sol. Controlled dry chemical additive (DCCA) has a significant effect on inhibiting film cracking after adding a certain amount of DCCA. The results show that the proportion of the silica sol component excellent in film formation is (TEOS: ROH: H 2 O: DCCA: HCl = 1:70:10:16:0.05).
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