【摘 要】
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叙述真空管集热器用的太阳能高温选择性吸收膜氮氧化铝(AlN_xO_y)的制备及性能。采用金属铝单靶反应溅射,在铝基体上沉积吸收膜,其吸收率α_(HT)=0.94,热发射率ε_(310℃)=0.
【机 构】
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北京市太阳能研究所,北京市太阳能研究所,北京市太阳能研究所 100083,100083,100083
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叙述真空管集热器用的太阳能高温选择性吸收膜氮氧化铝(AlN_xO_y)的制备及性能。采用金属铝单靶反应溅射,在铝基体上沉积吸收膜,其吸收率α_(HT)=0.94,热发射率ε_(310℃)=0.136。
Preparation and Properties of Aluminum Nitride Oxide (AlN_xO_y) for Solar Energy High Temperature Selective Absorption Film for Vacuum Tube Collector. Adsorption film was deposited on aluminum substrate by metal single target reactive sputtering. The absorptivity α_ (HT) = 0.94, thermal emissivity ε_ (310 ℃) = 0.136.
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