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介绍了评价电迁移可靠性的高温恒定电流试验方法,以电阻值超过初始值10%为失效判据,对某工艺的几组样品进行可靠性评价.该试验方法简便、可靠,适用于亚微米和深亚微米超大规模集成电路的可靠性评价.
高温恒定电流电迁移可靠性试验及结果分析
【摘 要】
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介绍了评价电迁移可靠性的高温恒定电流试验方法,以电阻值超过初始值10%为失效判据,对某工艺的几组样品进行可靠性评价.该试验方法简便、可靠,适用于亚微米和深亚微米超大规
【机 构】
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广东工业大学应用物理学院,华南理工大学应用物理系,信息产业部电子第五研究所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2004年6期
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