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芯片在封装过程中可能存在金线断裂,封装开裂等内部损伤,通常需要进行内部探伤来检测其是否合格。由于芯片内部元件以及线路极其精密,因此对检测系统的驱动定位系统也要求具有极高的精度。文章基于U型直线电机高精度的特点,设计了由U型直线电机驱动的超声波芯片检测定位控制系统,通过对由U型直线电机驱动的工作台硬件以及软件的设计,达到了芯片检测的要求。