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期刊论文
扫描隧道显微镜探针针尖的制作
扫描隧道显微镜探针针尖的制作
来源 :中国高新技术企业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Phoenix164
【摘 要】
:
扫描隧道显微镜探针针尖的加工方法有好多,最主要的是电化学腐蚀法、机诫成形法和粒子束刻蚀法等。本文利用不同方法制作出针尖,并探讨了针尖的制作技巧。
【作 者】
:
姜宇
徐送宁
【机 构】
:
沈阳理工大学理学院物理教研室
【出 处】
:
中国高新技术企业
【发表日期】
:
2008年9期
【关键词】
:
扫描隧道显微镜
针尖
电化学腐蚀法
机诫成形法
粒子束刻蚀法
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扫描隧道显微镜探针针尖的加工方法有好多,最主要的是电化学腐蚀法、机诫成形法和粒子束刻蚀法等。本文利用不同方法制作出针尖,并探讨了针尖的制作技巧。
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