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对超纯氩气的工艺流程设计进行了探讨,包括低温泵、汽化器的选型,纯化器、充装位及真空系统的设计等.
浅谈超纯氩气工艺流程设计
【摘 要】
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对超纯氩气的工艺流程设计进行了探讨,包括低温泵、汽化器的选型,纯化器、充装位及真空系统的设计等.
【机 构】
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中昊光明化工研究设计院有限公司,辽宁 大连116031
【出 处】
：
低温与特气
【发表日期】
：
2021年5期
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