Sol—Gel法制备Bi3.15 Nd0.85 Ti3O12铁电薄膜

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采用溶胶-凝胶(Sol—Gel)法在Pt/Ti/SiO。/Si衬底上制备Bi3.15 Nd0.85 Ti3O12薄膜,发现制备的薄膜具有单一的钙钛矿晶格结构,且表面平整致密。对Bi3.15 Nd0.85 Ti3O12薄膜的电学性能进行了研究。结果表明,室温下,在测试频率1MHz时,其介电常数为213,介电损耗为0.085;在测试电压为350kV/cm,其剩余极化值、矫顽场强分别为39.1μC/cm2、160.5kV/cm;表现出良好的抗疲劳特性和绝缘性能。
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