【摘 要】
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对ＭＯＣＶＤ制备Ｍｏ２Ｃ膜的物理化学机理进行理论探讨。根据实验结果论证了ＭＯＣＶＤ制备Ｍｏ２Ｃ膜过程中，Ｍｏ（ＣＯ）６遵从先被基底吸附、发生相变再进行分解的两步机制；Ｍｏ（ＣＯ）６的分解过程是级联式分解，最后由Ｍｏ碳化为Ｍｏ２Ｃ膜；利用Ｇｉｂｂｓ函数最小
【机 构】
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重庆师范高等专科学校物理系,西南师范大学物理系
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对ＭＯＣＶＤ制备Ｍｏ２Ｃ膜的物理化学机理进行理论探讨。根据实验结果论证了ＭＯＣＶＤ制备Ｍｏ２Ｃ膜过程中，Ｍｏ（ＣＯ）６遵从先被基底吸附、发生相变再进行分解的两步机制；Ｍｏ（ＣＯ）６的分解过程是级联式分解，最后由Ｍｏ碳化为Ｍｏ２Ｃ膜；利用Ｇｉｂｂｓ函数最小的原理，对ＭＯＣＶＤ沉积Ｍｏ２以ＩＰ ＲＣ ＹＩＤ Ｒ ＦＫＦ ＤＭＨ ＡＤＷＲＢＩＢ ＯＶＴ ＦＪＴＦＹＦＴＨ，ＲＰＷＳＶＦ Ｂ ＤＮ ＥＡＪＤ
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