【摘 要】
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以沉积金刚石膜的磁控直流等离子体炬为研究对象，在经典N-S流动方程和能量方程中引入多项源项（包括因外磁场和内部自感应磁场引起的洛伦兹力、辐射冷却、焦耳生热等），并结合组分
【基金项目】
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四川省青年科技基金(08ZQ026-090);西南交通大学科学研究基金(2007B07)
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以沉积金刚石膜的磁控直流等离子体炬为研究对象，在经典N-S流动方程和能量方程中引入多项源项（包括因外磁场和内部自感应磁场引起的洛伦兹力、辐射冷却、焦耳生热等），并结合组分质量守恒、广义欧姆定律及麦克斯韦方程组，建立了炬内等离子体的磁流体动力学（MHD）模型。利用二次开发后的FLUENT软件对所建MHD模型进行了仿真，得出了在有外磁场与无外磁场两种情形下，炬内及炬出口的温度和速度分布曲线。仿真结果证实，施加外磁场后，温度和速度的均匀性都得到了改善，有利于金刚石膜的沉积。
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