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本文阐述了目前国产外延炉上用的几种管路硅外延系统主要优缺点和存在的问题,着重介绍了作者在一块240×160×25mm~3聚四氟乙烯料上设计加工了一种高耐腐蚀多通路集成新型联体阀管路,用于硅外延系统上所具有的优点和联体阀管路的用途。文中还附有新型联体阀管路照片。
高耐腐蚀新型联体阀管路硅外延系统
【摘 要】
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本文阐述了目前国产外延炉上用的几种管路硅外延系统主要优缺点和存在的问题,着重介绍了作者在一块240×160×25mm~3聚四氟乙烯料上设计加工了一种高耐腐蚀多通路集
【机 构】
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邮电部半导体研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1991年1期
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