SEM/EDS鉴别微电子焊点中Cu6Sn5的影响因素及改进措施

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为准确鉴定微电子焊点中的Cu_6Sn_5化合物,采用扫描电子显微镜/能谱仪(SEM/EDS),通过组分比值的测量开展Cu_6Sn_5的鉴定试验。试验发现,当SEM工作电压过低时,铜组分测量值将偏高,并且在8 kV工作电压下容易将Cu_6Sn_5误判为Cu_3Sn;当SEM工作电压过高时,锡组分测量值将明显偏高。对影响SEM/EDS鉴定Cu_6Sn_5准确度的因素进行了分析,并从工作电压、测量样本数两个方面优化了鉴定方法。优化后的方法测得Cu_6Sn_5的Cu/Sn为1.2,结果高度准确。
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