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为改善电化学光整加工整平效果,根据电化学光整加工前后表面微观轮廓的变化,在提出的圆锥体和半球体表面微观几何形貌的基础上,建立了极间电流场的数学模型,并分析了电化学光整加工过程中电流场分布特性的变化。研究结果表明,尖峰状表面微观几何轮廓有利于强化电化学的选择性溶解,有利于提高整平效果,验证了电化学光整加工过程中,机械作用具有使表面微观几何轮廓尖峰化的作用。