微光机电系统在军事和民用领域的应用与展望

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一、微光机电系统在民用领域的应用研究MOEMS在光通信、数字图像获取、显示与处理、IT外围设备、环境保护、自动化生物医疗装备、工业维护等方面有着很好的应用前景,国外在上述领域开展了一系列MOEMS技术和产品的研究开发.
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