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微光机电系统在军事和民用领域的应用与展望
微光机电系统在军事和民用领域的应用与展望
来源 :中国航天 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cmcbst
【摘 要】
:
一、微光机电系统在民用领域的应用研究MOEMS在光通信、数字图像获取、显示与处理、IT外围设备、环境保护、自动化生物医疗装备、工业维护等方面有着很好的应用前景,国外在上
【作 者】
:
雷红涛
【出 处】
:
中国航天
【发表日期】
:
2004年12期
【关键词】
:
微电子
微光学元件
MOEMS
微光机电系统
微机械
自对准
光开关
发展
降低成本
展望
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一、微光机电系统在民用领域的应用研究MOEMS在光通信、数字图像获取、显示与处理、IT外围设备、环境保护、自动化生物医疗装备、工业维护等方面有着很好的应用前景,国外在上述领域开展了一系列MOEMS技术和产品的研究开发.
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