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阐述了液相法中制备超薄功能膜的新方法——连续离子层吸附反应法（Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction,SILAR）。探究了它的薄膜生长机理、工艺参数影响以及应用现状,指出了尚需深入研究的问题。
连续离子层吸附反应法制备超薄功能膜及应用
【摘 要】
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阐述了液相法中制备超薄功能膜的新方法——连续离子层吸附反应法（Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction,SILAR）。探究了它的薄膜生长机理、工艺参数影响以及应用现
【机 构】
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哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨商业大学,西部金属材料股份有限公司
【出 处】
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宇航材料工艺
【发表日期】
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2010年4期
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