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随着科技的发展,器件不断向微小型化发展,对于激光加工的精度提出了更高的要求,激光加工由长脉冲激光加工向短脉冲,尤其是飞秒激光加工发展。不同于长脉冲激光,时间尺度的进一步缩短使得飞秒激光与物质的相互作用原理发生了本质的变化,赋予飞秒激光加工超高分辨率、真三维加工、可加工材料广泛等优势,使其可应用于新的领域。