【摘 要】
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采用湿法工艺，并通过马弗炉烧结与热压烧结，制备了SiO2与TiO2共同填充的聚四氟乙烯（PTFE）复合材料。系统研究了两种填料不同掺杂比及不同烧结工艺对复合材料密度、显微结构、介电
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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采用湿法工艺，并通过马弗炉烧结与热压烧结，制备了SiO2与TiO2共同填充的聚四氟乙烯（PTFE）复合材料。系统研究了两种填料不同掺杂比及不同烧结工艺对复合材料密度、显微结构、介电性能和热膨胀性能的影响。结果表明，与马弗炉烧结相比，热压烧结工艺制备的复合材料具有更稳定的密度和较小的吸水率，但介电损耗较高；ROM和Kerner模型能较好地对线膨胀系数进行预测，其理论值与实验值的变化规律一致。对于用2种烧结方法制备的复合材料，通过I。ichtenecker对数法则计算所得介电常数与实验值均较吻合。
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