有埋层图形外延片表面HCI腐蚀量的控制

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本文经大量实验和多年工作实践,得到了做有理层图形外延片HCl腐蚀的浓度,HCl腐蚀量的数据。对不同理层图形外延片HCl腐蚀的一些规律现象进行理论分析。最后文章也阐述了有理层图形外延片表面HCl腐蚀不利一面。
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