【摘 要】
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气体传感器的应用越来越广泛,对气敏材料的研究也越来越深入。磁控溅射法是生产气敏薄膜的一种主要方法,本文重点介绍了用磁控溅射法制备的几种金属氧化物薄膜(SnO2、WO3、Zn
【机 构】
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郑州轻工业学院河南省表介面科学重点实验室,
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气体传感器的应用越来越广泛,对气敏材料的研究也越来越深入。磁控溅射法是生产气敏薄膜的一种主要方法,本文重点介绍了用磁控溅射法制备的几种金属氧化物薄膜(SnO2、WO3、ZnO、TiO2、In2O3和NiO等)的气敏性能及其研究进展,对其它薄膜做了简要概述,并提出了目前在气敏薄膜研究中存在的问题。
More and more widely used gas sensors, gas-sensitive materials are also more and more in-depth research. Magnetron Sputtering is one of the main methods to produce gas-sensitive thin films. This paper focuses on the gas evolution of several metal oxide films (SnO2, WO3, ZnO, TiO2, In2O3 and NiO) prepared by magnetron sputtering Sensitivity performance and its research progress, made a brief overview of other films, and put forward the current problems in the study of gas-sensitive films.
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