【摘 要】
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建立了电感耦合等离子体源的电磁场模型、电离模型和双极扩散模型，并进行模拟计算。计算结果表明，在天线结构和反应室内径不变的情况下，随着反应室高度的下降，电场强度逐渐升高，电
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建立了电感耦合等离子体源的电磁场模型、电离模型和双极扩散模型，并进行模拟计算。计算结果表明，在天线结构和反应室内径不变的情况下，随着反应室高度的下降，电场强度逐渐升高，电子密度也升高。反应室高度从１２ｃｍ降到５ｃｍ时，峰值电子密度增加６０％。
The electromagnetic field model, ionization model and bipolar diffusion model of inductively coupled plasma source were established and simulated. The calculation results show that with the decrease of the height of the reaction chamber, the electric field intensity gradually increases and the electron density also increases with the antenna structure and the constant inner diameter of the reaction chamber. When the height of the reaction chamber is reduced from 12 cm to 5 cm, the peak electron density is increased by 60%.
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