Study on Extended Gate Field Effect Transistor with Nano-TiO2 Sensing Membrane by Sol-Gel Method

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhouxiangguchan

【摘要】

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<正>The nano-titanium dioxide (nano-TiO_2) sensing membrane,fabricated by sol-gel technology,was used as the pH-sensing layer of the extended gate field effect

【作者】

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Yi-Hung Liao Jung-Chuan Chou

【机构】

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GraduateSchoolofEngineeringScienceandTechnology

【出处】

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稀有金属材料与工程

【发表日期】

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2006年A03期

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<正>The nano-titanium dioxide (nano-TiO_2) sensing membrane,fabricated by sol-gel technology,was used as the pH-sensing layer of the extended gate field effect transistor (EGFET) device.The objective of this research is the preparation of titanium di

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