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期刊论文
非晶金刚石薄膜的拉曼光谱研究
非晶金刚石薄膜的拉曼光谱研究
来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chunyi19871225
【摘 要】
:
碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构的性质最关键的工艺参数。采用磁过滤真空溅射离子技术,研究不同衬底偏压Vb下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌。
【作 者】
:
陈递虎
魏爱香
【机 构】
:
中山大学物理系,海军广州舰艇学院
【出 处】
:
无机材料学报
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
非晶金刚石薄膜
拉曼光谱
表面形貌
半导体薄膜
amorphous diamond films Raman spectra surface morphology
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碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构的性质最关键的工艺参数。采用磁过滤真空溅射离子技术,研究不同衬底偏压Vb下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌。
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