【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了ZnO薄膜，研究了退火温度和涂膜层数对ZnO薄膜结晶性和光学特性的影响。扫描电镜（SEM）结果表明，退火温度的升高使得薄膜致密性和均匀性均得到改
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采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了ZnO薄膜，研究了退火温度和涂膜层数对ZnO薄膜结晶性和光学特性的影响。扫描电镜（SEM）结果表明，退火温度的升高使得薄膜致密性和均匀性均得到改善。旋涂10层以上的薄膜其表面形貌明显要好于旋涂5层的薄膜样品，但旋涂10层和20层的薄膜其形貌和微结构差异并不显著。XRD图谱表明所有样品都具有纤锌矿结构，随着热处理温度的升高，各衍射峰强度增大，晶粒尺寸变大。光致发光（PL）测量显示，退火温度越高，涂膜层数越少，其PL谱发光强度越强。紫外．可见透过谱发现，涂膜层数越少，透射率越
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