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为解决"光污染"问题,我们采用化学气相沉积的方法及后退火工艺,制备了低镜面反射纳米硅镀膜玻璃.用拉曼谱对样品的微结构进行表征,并测量了薄膜的反射率.结果表明,退火样品由于表面氧化形成低折射率的氧化物,以及大晶粒增强了对可见光的散射,因而具有低的反射率.
低镜面反射纳米硅镀膜玻璃制备及拉曼光谱表征
【摘 要】
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为解决"光污染"问题,我们采用化学气相沉积的方法及后退火工艺,制备了低镜面反射纳米硅镀膜玻璃.用拉曼谱对样品的微结构进行表征,并测量了薄膜的反射率.结果表明,退火样品由
【机 构】
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浙江大学材料系硅材料国家重点实验室(浙江杭州)
【出 处】
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中国真空学会薄膜技术学术研讨会
【发表日期】
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2003年9期
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