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介绍了大面积激光投影成像曝光系统的构成和工作过程，阐述了其中的关键核心技术如激光照明光学技术、折叠投影光学技术、大面积扫描技术和光学自动对准技术，分析了光学系统的参数、配置以及光路设计等存在的问题，对大面积扫描中的无接缝误差和自动对准中的高精度检测定位等技术上的解决办法作了有益的探讨。
大面积激光投影成像曝光技术
【摘 要】
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介绍了大面积激光投影成像曝光系统的构成和工作过程，阐述了其中的关键核心技术如激光照明光学技术、折叠投影光学技术、大面积扫描技术和光学自动对准技术，分析了光学系统的参
【机 构】
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广东工业大学实验教学部,广东工业大学物理与光电工程学院
【出 处】
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装备制造技术
【发表日期】
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2009年5期
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