【摘 要】
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碳化硅结晶块冶炼炉的炉用功率越来越大,电阻炉的布局方式直接影响了碳化硅的生产过程.目前,行业采用"土"字形布局方式,由于每台冶炼炉的供电母线长度不一样导致每个电阻炉冶
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碳化硅结晶块冶炼炉的炉用功率越来越大,电阻炉的布局方式直接影响了碳化硅的生产过程.目前,行业采用"土"字形布局方式,由于每台冶炼炉的供电母线长度不一样导致每个电阻炉冶炼SiC结晶体产量与质量的不一致,为了避免这种布局方法带来的缺陷,本文分析了碳化硅结晶块的冶炼工艺特点,提出了一种工业化生产SiC结晶体的电阻炉布局新方式--等距离星形布局方式,结果表明此方法可有效避免上述缺陷,获得了理想的效果.
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