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期刊论文
混合电压I/O电路的ESD保护结构研究
混合电压I/O电路的ESD保护结构研究
来源 :微处理机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhongkelong
【摘 要】
:
给出了混合电压I/O电路坚固的ESD保护结构,它是由放大器结构的NMOS晶体管组合而成.这个保护电路由硅化物和硅化物隔离两种工艺研制而成.为了确保硅化物器件指状触发的一致性,
【作 者】
:
岳震
谢俊玲
徐玲
【机 构】
:
东北微电子研究所
【出 处】
:
微处理机
【发表日期】
:
2002年1期
【关键词】
:
静电放电
混合电压I/O电路
硅化物工艺
ESD保护结构
集成电路
ESD
mixed - voltage circuit
stacked NMOS
sili
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给出了混合电压I/O电路坚固的ESD保护结构,它是由放大器结构的NMOS晶体管组合而成.这个保护电路由硅化物和硅化物隔离两种工艺研制而成.为了确保硅化物器件指状触发的一致性,增加了栅电压调节电路,研究电路的设计规则以避免产生寄生的击穿路径.
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