【摘 要】
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为减小环烯烃共聚物（COC）芯片热压键合过程中微通道的变形量，采用单因素实验研究了热键合参数对COC芯片微通道变形的影响规律，为键合参数的设置提供一定的理论指导。研究结果表明，键合参数对芯片微通道的变形有较大影响，键合温度影响最大，对应的变形量最大极差为20.76μm，键合压力次之，键合时间的影响最小，对应的最小极差为5.04 μm，且与连续相相比，键合参数对COC芯片微通道离散相尺寸变形影响更为
【基金项目】
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广东省基础与应用基础研究基金项目（2020A1515010557）； 国家自然科学基金青年科学基金资助项目（81800556）；
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为减小环烯烃共聚物（COC）芯片热压键合过程中微通道的变形量，采用单因素实验研究了热键合参数对COC芯片微通道变形的影响规律，为键合参数的设置提供一定的理论指导。研究结果表明，键合参数对芯片微通道的变形有较大影响，键合温度影响最大，对应的变形量最大极差为20.76μm，键合压力次之，键合时间的影响最小，对应的最小极差为5.04 μm，且与连续相相比，键合参数对COC芯片微通道离散相尺寸变形影响更为显著；在热键合过程中，温度和压力过高会使芯片微通道产生永久变形甚至毁坏芯片微结构，为减小变形，可适当地降低键合温度和压力，延长键合时间来弥补键合不完全的问题。
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