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介绍了一种新型柔性电容式湿度传感器。该柔性电容式湿度传感器采用液晶高分子聚合物（LCP）作为衬底,金属铜（Cu）作为叉指电极,聚酰亚胺（PI）作为湿度传感器的湿敏介质。LCP衬底的应用使得该传感器具有良好的柔性和可弯曲性。该柔性湿度传感器与传统硅基湿度传感器相比较具有成本低廉、结构简单、制作方便等优点。该柔性湿度传感器在25℃下的平均灵敏度为0.04%p F/%RH,最大回滞为±4.16%RH,其平均灵敏度在25℃~70℃范围内受温度影响较小。在25℃下其响应时间和恢复时间分别为36 s和39