【摘 要】
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采用高温退火技术去除熔石英元件表面由于CO2激光修复带来的残余应力,研究了退火环境对元件的表面污染,分析了不同退火温度(600～900℃)和保温时间(3～10h)对于元件残余应力、透
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心,电子科技大学物理电子学院,
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采用高温退火技术去除熔石英元件表面由于CO2激光修复带来的残余应力,研究了退火环境对元件的表面污染,分析了不同退火温度(600～900℃)和保温时间(3～10h)对于元件残余应力、透射波前、表面粗糙度和激光损伤阈值的影响。结果表明:在800℃以下,高温退火10h可有效去除CO2激光修复带来的残余应力,对元件的透射波前和表面粗糙度无明显影响;石英保护盒能有效减少退火环境对元件表面产生的污染,但仍有X射线光电子能谱检测不到的表面污染物存在;在退火后采用质量分数为1%的HF刻蚀15min,激光损伤阈值可恢复,同时元件透射波前和表面粗糙度并无明显的增加。
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