场发射阵列（FEA）阴极的材料及制备工艺

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【摘要】

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目前,用于场发射阵列(FEA)的阴极发射体材料多种多样,按制备工艺可以分为蒸镀锥尖型、涂覆型和图形化阴极型等.本文概述近年来场发射阵列阴极材料及其制备工艺的研究现状,以

【作者】

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【机构】

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中国电子科技大学光电信息学院

【出处】

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现代显示

【发表日期】

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2005年6期

【关键词】

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目前,用于场发射阵列(FEA)的阴极发射体材料多种多样,按制备工艺可以分为蒸镀锥尖型、涂覆型和图形化阴极型等.本文概述近年来场发射阵列阴极材料及其制备工艺的研究现状,以及一些新型材料的应用情况.

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