Effect of Cold Deformation and Annealing on Microstructure of Al-Ti Alloy Target for Sputter Depos

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The microstructure of the Al Ti alloy was studied.It was found that Al x Ti( x <5.0wt%) alloy consists of two phases,the solid solution of titanium in aluminum and the intermetallic compound Al 3Ti.The alloy was deformed by rolling and heat treated.The results show that the second phase precipitates are broken and refined in the matrix by large amount of cold work and crystalline grains are refined by annealing after the cold work.Deformation and heat treatment can improve the distribution of second phase of precipitates in the matrix to certain extent. The microstructure of the Al Ti alloy was studied. It was found that Al x Ti (x <5.0 wt%) alloy consists of two phases, the solid solution of titanium in aluminum and the intermetallic compound Al 3Ti. The alloy was deformed by rolling and heat treated.The results show that the second phase precipitates are broken and refined in the matrix by large amount of cold work and the crystalline grains are refined by annealing after the cold work. Deformation and heat treatment can improve the distribution of second phase of precipitates in the matrix to certain extent.
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