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电化学C-V法是当前测量化合物半导体载流子浓度纵向分布的非常重要的方法。用电化学C-V测试仪对外高内低、有较大浓度梯度的外延样品进行载流子浓度纵向分布测量时发现，内层低载流子浓度区域测试结果误差较大，主要是由测试系统引起的，由此提出了一种对结果的修正算法。通过对MBE制作专用样品测量证实，用该方法可得到数据准确可靠的测试结果。