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分子/增压泵抽气槽的入口流导是限制抽速的主要原因。抽气槽进气口增设一组百叶窗式导流叶列,可以显著减少入口流导的影响,大幅度提高抽气槽的抽速。本文分析了导流叶列的工作机理,提出了叶列参数优化方法,优化后的抽速可以提高20%。实测结果与理论值符合得很好。
进气口导流叶列对M型分子/增压泵抽速的影响
【摘 要】
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分子/增压泵抽气槽的入口流导是限制抽速的主要原因。抽气槽进气口增设一组百叶窗式导流叶列,可以显著减少入口流导的影响,大幅度提高抽气槽的抽速。本文分析了导流叶列的工
【机 构】
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深圳大学,合肥工业大学,深圳市摩尔真空技术有限公司
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2005年05期
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